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使用平行光表面檢查燈在潔凈室中發(fā)現(xiàn)微小顆粒與劃痕

更新時(shí)間: 2021-11-25  點(diǎn)擊次數(shù): 1367次

很多行業(yè)的元器件,如半導(dǎo)體元器件、光學(xué)鏡頭、液晶面板等在制造過程中,空氣中不允許有過多的灰塵顆粒;對于制造中的某些步驟,例如半導(dǎo)體,在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中,由于空氣中的顆粒會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量并造成重大損失。在潔凈室中進(jìn)行微粒檢查的工作是必要的。

盡管潔凈室非常干凈,但是,潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對流外,這些灰塵可能來自消耗品(例如手套和口罩)或由人體產(chǎn)生。(例如來自皮膚表面的死皮細(xì)胞)。

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在潔凈室中,一些沒有氣流的區(qū)域(死點(diǎn))會(huì)慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾,這些空氣中的微塵會(huì)直接落到產(chǎn)品或工作人員身上,而不會(huì)被粒子計(jì)數(shù)器感應(yīng)到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內(nèi)的空氣中漂浮。當(dāng)它們因靜電或極性聚集在一起時(shí),很難將粘性灰塵吹到排氣口。

對于這種吸附的顆粒,不僅空氣過濾器的收集效率低,而且粒子計(jì)數(shù)器也難以感應(yīng),而且這種顆粒一旦附著在重要的表面(如光罩)上,可能會(huì)影響產(chǎn)量。(路徑越細(xì),影響越大。)

如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒,就無法有效地清潔灰塵,從而造成損失。因此,在潔凈室中,如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320,就能有效檢測產(chǎn)品上的粘塵,從而降低不良率。

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